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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本申请属于用于晶圆制造的辅助装置技术领域，尤其是涉及一种调节模块及装置。该调节模块包括支撑件、升降机构、平动机构以及摆动机构。升降机构用于支撑待调节件并能够带动待调节件沿Z向升降运动；平动机构，与升降机构相连并能够带动升降机构与待调节件一起沿Y向往复运动；摆动机构，设置于支撑件上，且摆动机构与平动机构相连并能够带动平动机构、升降机构以及待调节件一起相对支撑件摆动。待调节件在升降机构、平动机构以及摆动机构的作用下具备多个方向上的活动自由度，通过各调节模块中相应的机构进行配合驱动，即可实现调节待调节件的位置。
主权项：1.一种调节模块，其特征在于，包括：支撑件10；升降机构20，用于支撑待调节件700并能够带动所述待调节件700沿Z向升降运动；平动机构30，与所述升降机构20相连并能够带动所述升降机构20与所述待调节件700一起沿Y向往复运动；以及摆动机构40，设置于所述支撑件10上，且所述摆动机构40与所述平动机构30相连并能够带动所述平动机构30、所述升降机构20以及所述待调节件700一起相对所述支撑件10摆动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 调节模块及装置
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