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申请/专利权人:成都兴睿宝电子科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种多样性真空检漏设备,包括机械泵、检漏仪及分子泵,机械泵的输出端连通有负压管,负压管远离机械泵的一端为负压端,负压端用于与被检腔体连通,负压管设有第一手动阀;检漏仪通过检测管与被检腔体连通,检测管设有第二手动阀,检漏仪与机械泵连通;分子泵与负压管并联。其能够解决现有的真空检漏设备无法应对大型的待检腔体、且无法有效跨量程检漏的问题。
主权项:1.一种多样性真空检漏设备,其特征在于,包括:机械泵10,所述机械泵10的输出端连通有负压管11,所述负压管11远离所述机械泵10的一端为负压端111,所述负压端111用于与被检腔体连通,所述负压管11设有第一手动阀112;检漏仪20,所述检漏仪20通过检测管21与被检腔体连通,所述检测管21设有第二手动阀211,所述检漏仪20与所述机械泵10连通;分子泵30,所述分子泵30与所述负压管11并联。
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权利要求:
百度查询: 成都兴睿宝电子科技有限公司 一种多样性真空检漏设备
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