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申请/专利权人：浙江大学
申请日：2021-03-15
公开（公告）日：2022-09-20
公开（公告）号：CN115074695A
主分类号：C23C16/30
分类号：C23C16/30;C23C16/44;C23C16/46
优先权：
专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回
法律状态：2024.04.12#发明专利申请公布后的驳回;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开
摘要：本发明公开了一种新型二维CrX2X＝S或Se材料的制备方法，包括：1对反应腔室抽真空，使本底真空达到1.0x100Pa–1.0x10‑3Pa；2将铬源与添加剂材料混合在一起，使混合物形成第一气态前驱体，处理X源使其形成第二气态前驱体，其中采用CrCl3，CrBr3或CrI3作为铬源，硫粉、硒粉或H2S作为X源；3在还原性或氧化性气氛下，将第一气态前驱体与第二气态前驱体传质到衬底上进行化学反应，形成二维CrX2材料，X＝S或Se，所述化学反应时衬底采用分段升温及恒温处理。本发明提供的制备方法可以有效提高制备CrX2材料的产率。
主权项：1.一种新型二维CrX2材料的制备方法，其特征在于，包括：1对反应腔室抽真空，使本底真空达到1.0x100Pa–1.0x10-3Pa；2将铬源与能够降低CrX2形成能的添加剂材料混合在一起，使混合物形成第一气态前驱体，处理X源使其形成第二气态前驱体，其中采用CrCl3，CrBr3或CrI3作为铬源，硫粉、硒粉或H2S作为X源；3在还原性或氧化性气氛下，将第一气态前驱体与第二气态前驱体传质到衬底上进行化学反应，形成二维CrX2材料，X＝S或Se，所述化学反应时衬底采用分段升温及恒温处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种新型二维CrX2材料的制备方法
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