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申请/专利权人：中国科学院紫金山天文台
申请日：2019-12-23
公开（公告）日：2023-07-18
公开（公告）号：CN111129279B
主分类号：H10N60/84
分类号：H10N60/84;H01L31/0232;G01J1/42
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2023.07.18#授权;2020.06.02#实质审查的生效;2020.05.08#公开
摘要：本发明公开了一种集成多层光学薄膜的超导TES单光子探测器，包括依次层叠的介质基板、第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜，第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜构成用以吸收光子信号的光学腔体；所述第一多层光学薄膜包括交替层叠的两层金膜和两层钛膜，由下至上分别被定义成第一薄膜、第二薄膜、第三薄膜、第四薄膜，其中附着在介质基板表面的第一薄膜为钛膜，通过调节第二薄膜和第三薄膜的相对厚度以调整单光子探测器的临界温度。本发明能够通过消除底部反射镜，大大简化超导TES单光子探测器的设计和制备，显著提高超导TES单光子探测器的探测效率，降低暗计数。
主权项：1.一种集成多层光学薄膜的超导TES单光子探测器，其特征在于，所述单光子探测器包括依次层叠的介质基板、第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜，第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜构成用以吸收光子信号的光学腔体；所述第一多层光学薄膜包括交替层叠的两层金膜和两层钛膜，由下至上分别被定义成第一薄膜、第二薄膜、第三薄膜、第四薄膜，其中附着在介质基板表面的第一薄膜为钛膜，通过调节第二薄膜和第三薄膜的相对厚度以调整单光子探测器的临界温度；所述第二多层光学薄膜包括交替叠层的SiO2薄膜与Ta2O5薄膜或交替叠层的SiO2薄膜和TiO2薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院紫金山天文台 集成多层光学薄膜的超导TES单光子探测器和制备方法
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