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【发明授权】一种高分子量且窄分布PHS树脂及其制备方法与应用_上海八亿时空先进材料有限公司_202211205713.2 

申请/专利权人:上海八亿时空先进材料有限公司

申请日:2022-09-30

公开(公告)日:2023-08-15

公开(公告)号:CN115260348B

主分类号:C08F112/14

分类号:C08F112/14;C08F2/00;C08F8/00;G03F7/004

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.08.15#授权;2023.08.01#专利申请权的转移;2022.11.18#实质审查的生效;2022.11.01#公开

摘要:本发明公开一种可控且易于量产化的高分子量且窄分布PHS树脂及其制备方法与应用。本发明提供的PHS树脂的制备方法,包括如下步骤:将式(I)所示化合物单体滴加至反应体系中进行活性阴离子聚合反应,再经脱保护反应,得到PHS树脂。本发明还提供由所述制备方法得到的PHS树脂。本发明还提供一种抗蚀剂,包括基础聚合物;所述基础聚合物包括所述的PHS树脂。本发明采取活性阴离子聚合方式,并采取滴加方式投加单体,因而反应过程可控,易于工业化生产,同时所得PHS树脂的分子量分布更窄。

主权项:1.一种PHS树脂的制备方法,包括如下步骤:(1)式(I)所示化合物单体通过滴加方式加入反应体系中,进行活性阴离子聚合反应;(2)再经脱保护反应,得到PHS树脂;其中:步骤(1)中,式(I)所示化合物单体为对甲氧基苯乙烯、对叔丁氧基苯乙烯、对乙酰氧基苯乙烯或对叔丁基二甲基硅氧基苯乙烯;步骤(1)中,所述反应体系先降温至-50℃~-40℃加入引发剂,再继续降温至反应温度,滴加式(I)所示化合物单体;所述活性阴离子聚合反应的反应温度为-70℃~-80℃;所述聚合反应采用的引发剂为正丁基锂和或仲丁基锂;步骤(1)中,所述聚合反应采用的溶剂为四氢呋喃、二氧六环、四氢吡喃和正己烷中的一种或多种;所述式(I)化合物具有如下结构: 式中:R1代表C1-5的烷基、C1-5的烷氧基或C1-5的烷硅基;所述PHS树脂,具有式(II)所示的重复单元: 所述PHS树脂的分子量≥2000,MwMn在1.01-1.10之间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海八亿时空先进材料有限公司 一种高分子量且窄分布PHS树脂及其制备方法与应用

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