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申请/专利权人：昆山毅普腾自动化技术有限公司
摘要：本发明公开一种基于F‑SRU网络的纳米电子器件内部微结构快速检测方法，包括以下步骤：步骤1：针对各类纳电子器件，在给定的电子束工作条件以及物理参数条件下，采用数值计算获得不同微结构对应的二次电子电流、电子束感生电流，形成二次电子电流及电子束感生电流的数据集；步骤2：构建F‑SRU网络模型，由计算得到的二次电子电流及电子束感生电流的数据集，建立器件内部微结构与相关电流之间的对应关系；步骤3：搭建测量平台，快速测量检测对象的二次电子电流及电子束感生电流；步骤4：以二次电子电流以及电子束感生电流的测量结果为F‑SRU模型的输入，由模型的输出重构内部微结构。
主权项：1.一种基于F-SRU网络的纳米电子器件内部微结构快速检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：针对各类纳电子器件，在给定的电子束工作条件以及物理参数条件下，采用数值计算获得不同微结构对应的二次电子电流、电子束感生电流，形成二次电子电流及电子束感生电流的数据集；步骤2：构建F-SRU网络模型，由计算得到的二次电子电流及电子束感生电流的数据集，建立器件内部微结构与相关电流之间的对应关系；步骤3：搭建测量平台，快速测量检测对象的二次电子电流及电子束感生电流；步骤4：以二次电子电流以及电子束感生电流的测量结果为F-SRU模型的输入，由模型的输出重构内部微结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山毅普腾自动化技术有限公司 一种基于F-SRU网络的纳米电子器件内部微结构快速检测方法
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