申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2023-12-08

公开（公告）日：2024-01-09

公开（公告）号：CN117367291A

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02;G01B9/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.26#实质审查的生效;2024.01.09#公开

摘要：本发明涉及光栅干涉测量技术领域，尤其涉及一种基于双光栅的双向Littrow二自由度光栅干涉测量装置，其中采用透射二维光栅和反射二维光栅进行系统搭建，利用光源发出的双频激光经特定栅距的透射二维光栅后形成的分别形成X、Y方向的四束以Littrow角入射至反射二维光栅，经反射二维光栅衍射的四束光将会沿着入射方向原路返回至透射二维光栅，四束光在不同方向上的不同级次透射光会形成携带位移信息的稳定干涉信号并被探测器接收。本发明提供的测量装置仅需采用两块衍射光栅进行系统搭建，避免使用过多光学元件而引入的周期非线性误差，大幅度降低角度公差的敏感度，同时使装置做到集成化。

主权项：1.一种基于双光栅的双向Littrow二自由度光栅干涉测量装置，其特征在于，包括光源、透射二维光栅、反射二维光栅、X向四分之一波片、Y向四分之一波片、第一光学系统、第二光学系统、第三光学系统以及第四光学系统；其中，所述光源为双频激光器，用于产生频率分别为f1、f2且偏振态相互垂直的X向测量激光和Y向测量激光；将所述X向测量激光垂直射入所述透射二维光栅中得到的+1级衍射光以Littrow角度经所述X向四分之一波片入射至所述反射二维光栅中得到新+1级衍射光，所述新+1级衍射光沿所述+1级衍射光的方向经所述X向四分之一波片返回至所述透射二维光栅得到0级衍射光和-2级衍射光；此时所述新+1级衍射光产生的0级衍射光和所述-2级衍射光中频率为f1的水平偏振光会转变为垂直偏振光，频率为f2的垂直偏振光会转变为水平偏振光；将所述X向测量激光垂直射入所述透射二维光栅中得到的-1级衍射光以Littrow角度入射至所述反射二维光栅中得到新-1级衍射光；所述新-1级衍射光沿所述-1级衍射光的方向返回至所述透射二维光栅中，获取经所述透射二维光栅的衍射后的0级衍射光和-2级衍射光；所述第一光学系统将所述新+1级衍射光产生的-2级衍射光与所述新-1级衍射光产生的0级衍射光中水平分量的稳定干涉信号滤掉，使频率为f2和f1的垂直分量的衍射光进行稳定干涉；所述第二光学系统将所述新-1级衍射光产生的-2级衍射光与所述新+1级衍射光产生的0级衍射光中垂直分量的稳定干涉信号滤掉，使频率为f2和f1的水平分量的衍射光进行稳定干涉；将所述第一光学系统和所述第二光学系统中得到的稳定干涉信号进行处理，得到所述反射二维光栅在X方向上的位移变化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于双光栅的双向Littrow二自由度光栅干涉测量装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD