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申请/专利权人：嵊州市西格玛科技有限公司
申请日：2023-08-08
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN220846341U
主分类号：C30B35/00
分类号：C30B35/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.26#授权
摘要：本实用新型涉及石墨坩埚技术领域，具体为一种半导体长晶用高纯石墨坩埚，包括石墨坩埚本体，石墨坩埚本体的顶部设置有密封槽，石墨坩埚本体的顶部设置有连接螺纹，石墨坩埚本体顶部设置有防尘盖，防尘盖上设置有防尘盖螺纹，防尘盖上还设置有密封块。本实用新型的优点在于：通过在石墨坩埚本体顶部设置密封槽和连接螺纹用于连接带有防尘盖螺纹和密封块的防尘盖，使得该石墨坩埚密封效果好，另一方面通过在石墨坩埚本体底部设置出料口，并在出料口处安装阀板、螺杆、齿轮和驱动轮盘，使用时转动驱动轮盘可带动齿轮转动，进而带动螺杆转动，螺杆转动便带动阀板上下运动，以便于对出料口进行开合，进而方便对出料口进行控制。
主权项：1.一种半导体长晶用高纯石墨坩埚，其特征在于：包括石墨坩埚本体1，所述石墨坩埚本体1的顶部设置有密封槽2，所述石墨坩埚本体1的顶部设置有连接螺纹3，所述石墨坩埚本体1顶部设置有防尘盖4，所述防尘盖4上设置有防尘盖螺纹5，所述防尘盖4上还设置有密封块6，所述石墨坩埚本体1底部开设有出料口7，所述出料口7处设置有阀板8，所述阀板8一侧连接有螺杆9，所述螺杆9的顶部固定连接有齿轮12，所述齿轮12的一侧啮合连接有驱动轮盘13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 嵊州市西格玛科技有限公司 一种半导体长晶用高纯石墨坩埚
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