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一种NBTI效应退化阶段的仿真方法 

申请/专利权人:西安电子科技大学

申请日:2024-02-01

公开(公告)日:2024-05-03

公开(公告)号:CN117973040A

主分类号:G06F30/20

分类号:G06F30/20;G06F119/14

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开

摘要:本发明涉及一种NBTI效应退化阶段的仿真方法,包括:利用仿真软件对器件进行建模;对所建立的模型进行校准,使二维器件结构模型的转移特性曲线与器件的转移特性曲线相吻合;校准后,在仿真软件中添加物理模型,并在物理模型中设置陷阱,得到陷阱退化模型;设置陷阱退化模型的退化参数,进行NBTI效应的退化阶段瞬态仿真;加载瞬态仿真结果,基于准静态扫描得到器件的转移特性曲线;提取不同NBTI应力时间下的器件的转移特性曲线中的阈值电压,绘制得到器件的阈值电压曲线。本发明利用仿真软件中的物理模型实现仿真,该模型具有物理理论支撑,能够反应微观粒子的实际物理行为;数据无需导出再处理,提高了数据处理的准确性与效率。

主权项:1.一种NBTI效应退化阶段的仿真方法,其特征在于,包括:步骤1:利用仿真软件对器件进行建模,得到二维器件结构模型,所述二维器件结构模型用于NBTI效应退化阶段仿真;步骤2:对所述二维器件结构模型进行校准,使所述二维器件结构模型的转移特性曲线与所述器件的转移特性曲线相吻合,得到校准后的二维器件结构模型;步骤3:在所述仿真软件中添加物理模型,并在所述物理模型中设置陷阱,得到陷阱退化模型;步骤4:设置所述陷阱退化模型的退化参数,利用所述陷阱退化模型对所述校准后的二维器件结构模型进行NBTI效应的退化阶段瞬态仿真,得到瞬态仿真结果并保存;步骤5:加载保存的所述瞬态仿真结果,基于准静态扫描得到不同NBTI应力时间下的器件的转移特性曲线;步骤6:提取所述不同NBTI应力时间下的器件的转移特性曲线中的阈值电压,得到器件的阈值电压曲线。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安电子科技大学 一种NBTI效应退化阶段的仿真方法

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