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申请/专利权人：苏州大学
申请日：2024-03-29
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118265434A
主分类号：H10N30/30
分类号：H10N30/30;H10N30/50;H10N30/87;H10N30/074
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供一种基于应力集中效应的压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域。压力传感器包括由上至下依次布置的第一电极层、摩擦层、第二电极层和应力集中层，摩擦层包括摩擦部，摩擦部与第一电极层之间间隔预设距离，应力集中层包括多个第一锥形微结构，第一锥形微结构设置成其尖端远离第二电极层，且应力集中层的杨氏模量为第一预设值，第一预设值为范围在700‑1300kPa中任一值，以制备具有不同杨氏模量应力集中层的压力传感器，从而提高压力传感器的灵敏度以及增大压力传感器的检测范围。
主权项：1.一种基于应力集中效应的压力传感器，特征在于，包括由上至下依次布置的第一电极层、摩擦层、第二电极层和应力集中层，所述摩擦层包括摩擦部，所述摩擦部与所述第一电极层之间间隔预设距离，所述应力集中层包括多个第一锥形微结构，所述第一锥形微结构设置成其尖端远离所述第二电极层，且所述应力集中层的杨氏模量为第一预设值，所述第一预设值为范围在700-1300kPa中任一值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州大学 一种基于应力集中效应的压力传感器及其制备方法
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