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申请/专利权人：浙江理工大学
申请日：2021-08-24
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN115895656B
主分类号：C09K11/78
分类号：C09K11/78;C23C26/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.03#授权;2023.04.21#实质审查的生效;2023.04.04#公开
摘要：本发明涉及发光材料技术领域，具体涉及光致发光铽掺杂氧化锡薄膜及其制备方法，包括以下步骤：以锡盐和铽盐为前驱体，旋涂形成薄膜，置于管式炉中，以第一升温速度升温至第一退火温度，在管式炉中退火处理，形成第一产品；将第一产品置于快速热退火设备中，以第二升温速度升温至第二退火温度，在快速热退火设备中退火处理，获得铽掺杂氧化锡薄膜；其中，第二升温速度大于第一升温速度，第二退火温度大于第一退火温度。本发明可以有效的改善管式炉处理后铽掺杂氧化锡薄膜的光致发光性能，获得的铽掺杂氧化锡薄膜具有优良的光致发光性能。
主权项：1.光致发光铽掺杂氧化锡薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：以锡盐和铽盐为前驱体，旋涂形成薄膜，置于管式炉中，以第一升温速度升温至第一退火温度，在管式炉中退火处理，形成第一产品；将第一产品置于快速热退火设备中，以第二升温速度升温至第二退火温度，在快速热退火设备中退火处理，退火处理的降温速度为100-200℃min，获得铽掺杂氧化锡薄膜；其中，第二升温速度大于第一升温速度，第二退火温度大于第一退火温度；所述“以锡盐和铽盐为前驱体，旋涂形成薄膜，置于管式炉中”包括：将锡盐和铽盐溶解于溶剂中，得到溶液A；将溶液A旋涂在衬底上制备成膜，并放在加热台上以第一温度加热，获得基于衬底的薄膜；将所述基于衬底的薄膜置于管式炉中；其中，第一退火温度大于第一温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江理工大学 光致发光铽掺杂氧化锡薄膜及其制备方法
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