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申请/专利权人：北方工业大学
申请日：2024-03-18
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118028771A
主分类号：C23C16/27
分类号：C23C16/27;C23C16/515;C23C16/54
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要：本发明提供一种调控等离子体制备高强韧性孪晶金刚石环的方法，涉及化学气相沉积技术领域。所述方法包括以下步骤：步骤S1、制备圆环状衬底；步骤S2、采用旋转脉冲法进行初次沉积，得到初加工孪晶金刚石环；步骤S3、采用旋转脉冲法进行二次沉积，得到再加工孪晶金刚石环；步骤S4、孪晶金刚石环表面处理。本发明通过旋转脉冲法调控等离子体源的相对旋转速度的大小，产生脉冲式能量波动。所述方法具有设备操作简单，制备难度低等优点，所得孪晶金刚石环具有高强硬度及韧性，可用于纯金刚石砂轮等生产实际应用。
主权项：1.一种调控等离子体制备高强韧性孪晶金刚石环的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、制备圆环状衬底；步骤S2、采用旋转脉冲法进行初次沉积，得到初加工孪晶金刚石环；步骤S3、采用旋转脉冲法进行二次沉积，得到再加工孪晶金刚石环；步骤S4、孪晶金刚石环表面处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方工业大学 一种调控等离子体制备高强韧性孪晶金刚石环的方法
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