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【发明授权】钨钢喷嘴的加工抛光方法及装置_深圳市摆渡微电子有限公司_202311614867.1 

申请/专利权人:深圳市摆渡微电子有限公司

申请日:2023-11-29

公开(公告)日:2024-05-24

公开(公告)号:CN117415682B

主分类号:B24B1/00

分类号:B24B1/00;B24B29/04;B24B27/00;B24B49/04;B24B51/00;B24B47/12;B24B49/00;B24B41/06

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.05.24#授权;2024.02.06#实质审查的生效;2024.01.19#公开

摘要:本发明涉及钨钢喷嘴抛光技术领域,揭露了一种钨钢喷嘴的加工抛光方法,包括:根据测试旋转功率转动所述待旋转钨钢喷嘴,并监测测试实时旋转速度,得到测试旋转速度曲线,判断是否达到光滑旋转速度,若达到,则停止转动,根据打磨时长及所述测试旋转功率计算测试打磨功耗,识别所述最小打磨功耗的目标旋转功率,根据目标旋转功率对所述当前钝化钨钢喷嘴进行打磨,得到当前抛光钨钢喷嘴,监测当前实时旋转速度,判断是否达到所述光滑旋转速度,若达到,则停止打磨。本发明还提出一种钨钢喷嘴的加工抛光装置、电子设备以及计算机可读存储介质。本发明可以解决当前钨钢喷嘴的打磨抛光存在打磨时间不精准,人力物力耗费较大的问题。

主权项:1.一种钨钢喷嘴的加工抛光方法,其特征在于,所述方法包括:获取测试待抛光钨钢喷嘴集,对测试待抛光钨钢喷嘴集中每个测试待抛光钨钢喷嘴进行钝化,得到测试钝化钨钢喷嘴集;在所述测试钝化钨钢喷嘴集中依次提取测试钝化钨钢喷嘴,利用预构建的夹持式打磨器,根据预设的夹持压力夹持所述测试钝化钨钢喷嘴,得到待旋转钨钢喷嘴,包括:获取测试旋转功率序列对应的测试旋转动力序列;在所述测试旋转动力序列中提取最小测试旋转动力;获取钝化摩擦因数,根据所述钝化摩擦因数及所述最小测试旋转动力,利用预构建的夹持压力公式计算最大夹持压力,其中所述夹持压力公式,如下所示: 其中,表示最大夹持压力,表示最小测试旋转动力,表示钝化摩擦因数;利用所述夹持式打磨器,根据所述最大夹持压力夹持所述测试钝化钨钢喷嘴,得到待旋转钨钢喷嘴,其中所述夹持式打磨器包括两个平行的双面打磨板,且两个双面打磨板之间的距离及夹持压力可调,两个双面打磨板之间的夹持压力可实时监测;获取测试旋转功率序列,在所述测试旋转功率序列中依次提取测试旋转功率,根据所述测试旋转功率转动所述待旋转钨钢喷嘴,得到测试抛光钨钢喷嘴;监测所述测试抛光钨钢喷嘴的测试实时旋转速度,根据所述测试实时旋转速度绘制测试旋转速度曲线;判断所述测试旋转速度曲线是否达到预设的光滑旋转速度,其中所述光滑旋转速度指所述测试抛光钨钢喷嘴完成打磨,并达到预设的光滑度标准后,测试抛光钨钢喷嘴的旋转速度;若所述测试旋转速度曲线未达到所述光滑旋转速度,则返回上述监测所述测试抛光钨钢喷嘴的测试实时旋转速度的步骤;若所述测试旋转速度曲线达到所述光滑旋转速度,则停止转动所述测试抛光钨钢喷嘴,得到测试全程旋转速度曲线;提取所述测试全程旋转速度曲线的打磨时长,根据所述打磨时长及所述测试旋转功率计算测试打磨功耗;汇总所有测试旋转功率对应的测试打磨功耗,得到测试打磨功耗集;在所述测试打磨功耗集中筛选出最小打磨功耗,识别所述最小打磨功耗对应的目标旋转功率;获取当前待抛光钨钢喷嘴,对所述当前待抛光钨钢喷嘴进行钝化,得到当前钝化钨钢喷嘴;根据所述目标旋转功率,利用所述夹持式打磨器对所述当前钝化钨钢喷嘴进行打磨,得到当前抛光钨钢喷嘴;监测当前抛光钨钢喷嘴的当前实时旋转速度;判断当前实时旋转速度是否达到所述光滑旋转速度;若当前实时旋转速度未达到所述光滑旋转速度,则返回上述监测所述当前抛光钨钢喷嘴的当前实时旋转速度的步骤;若当前实时旋转速度达到所述光滑旋转速度,则停止打磨所述当前钝化钨钢喷嘴,得到已抛光钨钢喷嘴。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市摆渡微电子有限公司 钨钢喷嘴的加工抛光方法及装置

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