申请/专利权人:湖州飞鹿新能源科技有限公司
申请日:2024-03-25
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118248532A
主分类号:H01L21/02
分类号:H01L21/02
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本发明属于太阳能电池技术领域,具体涉及一种硅料清洗方法。本发明先通过在硅料表面形成一层包含有第三周期的金属元素、第四周期的过渡元素的氧化物或氢氧化物的磷浆薄膜层,再经过低温磷扩散使得磷浆薄膜层吸收硅料内部的金属杂质离子,从而将金属杂质离子吸附到硅料表面进行聚集沉积,进而在硅料表面形成一层包含金属杂质离子的氧化硅层。最后再通过酸洗去除硅料表面形成的包含金属杂质离子的氧化硅层。本发明通过在磷浆溶液中添加第三周期的金属元素、第四周期的过渡元素的氧化物或氢氧化物以形成磷浆薄膜层,从而有效降低磷扩散温度并提高对金属杂质离子的吸附能力。从而实现对硅料中金属杂质离子的高效吸杂去除,进一步提高硅料清洗效果。
主权项:1.一种硅料清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:S.1在硅料表面形成一层磷浆薄膜层;所述磷浆薄膜层包含有第三周期的金属元素、第四周期的过渡元素的氧化物或氢氧化物;S.2通过低温扩散使得步骤S.1中得到的磷浆薄膜层吸收硅料内部的金属杂质离子,得到包含金属杂质离子的氧化硅层;S.3酸洗去除步骤S.2中得到的包含金属杂质离子的氧化硅层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 湖州飞鹿新能源科技有限公司 一种硅料清洗方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。