申请/专利权人:礼鼎半导体科技秦皇岛有限公司;礼鼎半导体科技(深圳)有限公司
申请日:2023-06-06
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118240627A
主分类号:C11D1/72
分类号:C11D1/72;C11D3/30;C11D3/28;C11D3/34;C11D3/04;C11D3/60;C23G1/18;C23G1/20
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本发明提供一种去膜药水,包括按重量份数计的以下组分:有机碱10‑15份、无机碱25‑35份、有机缓蚀剂0.1‑1份、有机渗透剂15‑30份、水50‑70份;其中,所述有机渗透剂为聚乙烯醚类。所述去膜药水以特定配比的有机碱、无机碱、有机缓蚀剂和有机渗透剂复配,去膜效率高,去膜效果好,干膜经该去膜药水裂解够呈条状,大小和形状适中,与碎片、碎块相比条状较大,不会穿过过滤网造成过滤桶及回流问题,而与大膜块相比条状较小不易造成沾黏滚轮、喷嘴及过滤网堵塞等问题。本发明还提供去膜药水的配制方法和使用方法。
主权项:1.一种去膜药水,其特征在于,包括按重量份数计的以下组分:有机碱10-15份、无机碱25-35份、有机缓蚀剂0.1-1份、有机渗透剂15-30份、水50-70份;其中,所述有机渗透剂为聚乙烯醚类。
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权利要求:
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