申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心

申请日：2024-04-24

公开（公告）日：2024-05-28

公开（公告）号：CN118092044A

主分类号：G02F1/21

分类号：G02F1/21;G02F1/29

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.06.14#实质审查的生效;2024.05.28#公开

摘要：本发明属于光学测量领域，具体涉及一种液晶相移点衍射干涉仪及波像差检测方法。所述液晶相移点衍射干涉仪包括条纹对比度调节模块、液晶点衍射模块、波像差检测模块，本发明通过电光调制器、垂直线栅点衍射板和液晶点衍射板的配合使得整个系统共光路，抗振性能得到极大提升，受环境的影响减小，从而提高了待测投影物镜的波像差测量精度，并且可以利用λ2波片的转动调节参考光和测量光之间的强度比，增强干涉条纹的对比度，进一步提高待测投影物镜的波像差测量精度。

主权项：1.一种液晶相移点衍射干涉仪，其特征在于，包括：条纹对比度调节模块、液晶点衍射模块、波像差检测模块，所述条纹对比度调节模块、液晶点衍射模块、波像差检测模块沿光路依次放置；所述条纹对比度调节模块包括短相干激光光源，用于产生偏振方向可调的线偏振光束并将光束入射到所述液晶点衍射模块中；所述液晶点衍射模块包括：电光调制器、聚焦透镜、垂直线栅点衍射板、待测投影物镜、液晶点衍射板，所述电光调制器、聚焦透镜、垂直线栅点衍射板、待测投影物镜、液晶点衍射板沿光路依次放置，所述液晶点衍射板包括微球和液晶；光束通过电光调制器后，所述光束水平分量和垂直分量的光程差大于所述短相干激光光源的相干长度，光束通过所述聚焦透镜后聚焦到垂直线栅点衍射板上形成水平方向的线偏振光和垂直方向的线偏振光，两束光入射到待测投影物镜后，携带了待测投影物镜的波像差并入射到液晶点衍射板上，所述水平方向的线偏振光和垂直方向的线偏振光通过液晶点衍射板的微球衍射形成经过微球的水平方向线偏振光和经过微球的垂直方向线偏振光，所述水平方向的线偏振光和垂直方向的线偏振光通过液晶点衍射板的液晶形成经过液晶的水平方向线偏振光和经过液晶的垂直方向线偏振光，改变所述液晶的电压，使得其中两束光的光程差在短相干激光光源的相干长度以内，所述经过微球的线偏振光为参考光，经过液晶的线偏振光为测量光，而其他光束无法相干，成为背景光；所述波像差检测模块用于得到相差π2的四幅相移图像，实现四步并行相移，并通过计算得到参考光和测量光之间的相位差，进而获取待测投影物镜的波像差。

全文数据：

权利要求：

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