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申请/专利权人：滁州捷泰新能源科技有限公司
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-05-31
公开（公告）号：CN118117007A
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L31/068
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.18#实质审查的生效;2024.05.31#公开
摘要：本发明公开了一种Topcon电池PEpoly工艺，涉及Topcon电池技术领域，具体包括以下步骤：S1：对硅片进行制绒处理；S2：对硅片正面进行硼扩散处理；S3：正面进行SE处理；S4：硅片背面进行硼扩散处理；S5：去除硅片背面及边缘BSG；S6：采用PEpoly设备通过PECVD在硅片背面制备隧穿氧化层；S7：背面PECVD形成Poly‑si层；S8：背面PECVD形成磷掺杂层；S9：通过低压退火设备对硅片进行退火晶化激活处理。本发明在PECVD中使用氮气，将N原子引入非晶硅之中，退火后形成含氮多晶硅，降低爆膜风险，提高了电池的转换效率，降低了生产成本，提高钝化性能及稳定性。
主权项：1.一种Topcon电池PEpoly工艺，其特征在于：具体包括以下步骤：S1：对硅片进行制绒处理；S2：对硅片正面进行硼扩散处理；S3：正面进行SE处理；S4：硅片背面进行硼扩散处理；S5：去除硅片背面及边缘BSG；S6：采用PEpoly设备通过PECVD在硅片背面制备隧穿氧化层；S7：背面PECVD形成Poly-si层；S8：背面PECVD形成磷掺杂层；S9：通过低压退火设备对硅片进行退火晶化激活处理；S10：对硅片正面、边缘进行去PSG绕镀；S11：对硅片正面、边缘进行去Poly-si绕镀；S12：对硅片正面进行去PSG绕扩、背面进行去BSG绕扩；S13：对硅片进行RCA清洗；S14：正面PECVD镀AlOx膜；S15：正面PECVD镀SiNx膜；S16：背面PECVD镀SiNx膜；S17：对硅片的正背面进行金属化印刷和烧结处理；S18：对TOPCon电池成品进行电性能测试；在所述PECVD中通入N2作为保护气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 滁州捷泰新能源科技有限公司 一种Topcon电池PE poly工艺
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