申请/专利权人：北京工业大学

申请日：2021-08-27

公开（公告）日：2024-06-04

公开（公告）号：CN113866582B

主分类号：G01R31/26

分类号：G01R31/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.04#授权;2022.01.21#实质审查的生效;2021.12.31#公开

摘要：本发明公开了一种功率器件开关瞬间抗烧毁能力的检测方法，属于半导体器件测试可靠性的技术领域。主要应用于功率器件开启关断瞬间器件抗烧毁能力的评估，从而指导并提高器件可靠性的方法和装置。首先，通过施加低于盲点的栅压或通态压降，控制功率器件处于导通电阻负温度系数区域，模拟带容性负载开启及感性负载关断等工况；然后，通过对器件施加一组可控的递增脉冲信号，来模拟器件开启关断瞬间的功耗及热点形成情况，从而定量评价功率器件的抗瞬态烧毁能力，进而探索器件耐受瞬态失效的最恶劣条件。本发明也可以用于评价功率器件其它工况下抗瞬态烧毁能力。

主权项：1.一种功率器件开关瞬间抗烧毁能力的检测方法，其特征在于：该方法包括如下步骤，步骤一：搭建可控制器件栅压的浪涌电流捕捉电路，该电路满足功率器件开通关断瞬间的物理工况，即容性负载且栅压可控，栅压控制的要求为：低栅压高频率可控脉冲；步骤二：将信号发生器与浪涌电流产生电路相连，将待测功率器件与浪涌捕捉电路相连，将示波器的电压探测器与待测功率器件栅极相连，将示波器的电流探测器与待测功率器件组成的回路相连，将负载回路与浪涌捕捉电路相连，将驱动供电模块与驱动电路相连，将负载回路供电模块与待测功率器件及其组成的负载回路相连，并检查各部分连接无误；步骤三：开启信号发生器，控制功率器件在容性负载下处于一个低于盲点的栅压区域或低于盲点的电流工作区域，再给予器件一个可控的低栅压脉冲或源漏电压电流脉冲，使器件开启，捕捉该过程中的电学参数，读取示波器电流探测器与示波器电压探测器的数值，再结合公式计算出该浪涌开启瞬间的热功率；步骤四：关闭栅压信号，静置，待器件热特性恢复正常室温水平后；重复步骤三的操作，用一个固定的脉冲时间为台阶，或根据捕捉结果按需求逐步延长小脉冲信号的脉宽，从而不断监测该功率器件开启关断瞬间的热功率变化情况；步骤五：在不断延长的栅压脉冲信号下重复实验，直至器件出现烧毁失效情况，即相关电学参数的变化超过了规定的变化范围，即可判断该器件失效，从而形成一个功率器件容性负载下开启瞬态抗烧毁能力的标准与规范；用于评价功率器件其它工况下抗瞬态烧毁能力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京工业大学 一种功率器件开关瞬间抗烧毁能力的检测方法

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