龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社
申请日：2023-12-01
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118147753A
主分类号：C30B29/36
分类号：C30B29/36;C30B25/14;C30B25/16
优先权：["20221206 JP 2022-195054"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要：碳化硅单晶6的制造方法包括下述工序：在构成反应室的中空形状的加热容器9内配置晶种5的工序；和将上述反应室加热并且向上述晶种的表面供给包含碳化硅原料气体的供给气体3a，从而使碳化硅单晶6在上述晶种的表面上生长的工序。在使上述碳化硅单晶生长的工序中，将上述碳化硅原料气体的流量控制为目标流量，并且将成为上述加热容器的内部压力的上述供给气体的总压控制为40kPa以上而使上述碳化硅单晶生长。
主权项：1.一种碳化硅单晶的制造方法，其是碳化硅单晶6的制造方法，包括下述工序：在构成反应室的中空形状的加热容器9内配置晶种5的工序；和通过将所述反应室加热，并且向所述晶种的表面供给包含碳化硅原料气体的供给气体3a，从而使碳化硅单晶6在所述晶种的表面上生长的工序，在使所述碳化硅单晶生长的工序中，将所述碳化硅原料气体的流量控制为目标流量，并且将成为所述加热容器的内部压力的所述供给气体的总压控制为40kPa以上而使所述碳化硅单晶生长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社 碳化硅单晶的制造方法及碳化硅单晶
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号