申请/专利权人:财团法人工业技术研究院
申请日:2023-01-03
公开(公告)日:2024-06-07
公开(公告)号:CN118147738A
主分类号:C30B23/00
分类号:C30B23/00;C30B29/36
优先权:["20221207 TW 111146941"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.07#公开
摘要:本发明提供一种制造晶锭的装置,包含埚体与盖体;埚体具有埚身,埚身底部设有埚底,埚身与埚底形成内部空间供置放长晶原料,埚身顶部具有环状的埚身外侧壁与埚身内侧壁,于埚身外侧壁与埚身内侧壁间具有环状顶缘,埚身内侧壁与顶缘的相连接处形成环状且非直角的第一导准部;盖体的底面供设置晶种,底面设有突出部,其外沿对应于第一导准部具有环状且非直角的第二导准部,盖体可分离地覆盖于埚体顶部,突出部嵌于埚身内侧壁内,第一导准部与第二导准部相接触,且突出部外围盖体的底面与埚体的顶缘接触。
主权项:1.一种制造晶锭的装置,适用于晶锭生长制备工艺,该装置包含:埚体,其具有上下贯通呈筒状的埚身,于该埚身的底部设有埚底,该埚身与该埚底形成的内部空间供置放长晶原料,该埚身的顶部具有相对的环状埚身外侧壁与环状埚身内侧壁,该埚身外侧壁的外径大于该埚身内侧壁的内径,于该埚身外侧壁与该埚身内侧壁之间具有环状的顶缘,该埚身内侧壁与该顶缘的相连接处形成环状的第一导准部,该第一导准部为非直角;以及盖体,其底面供设置晶种,该盖体的底面设有突出部,该突出部的最大外径小于该盖体的最大外径,该突出部的外沿对应于该第一导准部具有环状的第二导准部,该第二导准部为非直角,该盖体可分离地覆盖于该埚体的顶部,该突出部嵌入于该埚身内侧壁之内,该第一导准部与该第二导准部相接触,且该突出部外围的该盖体的该底面与该埚体的该顶缘接触。
全文数据:
权利要求:
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