申请/专利权人:山东大学
申请日:2024-01-12
公开(公告)日:2024-06-07
公开(公告)号:CN118156317A
主分类号:H01L29/872
分类号:H01L29/872;H01L29/10;H01L29/47
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要:本发明涉及一种基于背靠背双肖特基结构的毫米波开关器件,自上而下依次包括肖特基毫米波器件层、衬底层和共地金属层;肖特基毫米波器件层包括馈电传输线、肖特基电极、半导体层以及欧姆电极;肖特基电极中间制备一条沟道形成电容性结构,半导体层生长于沟道之中;欧姆电极与半导体层连接;馈电传输线分别与沟道两侧左、右的肖特基电极连接,与沟道两侧左、右的肖特基电极最终连接到一起,使得在馈电时,沟道两侧左、右的肖特基电极处于相同电势。本发明中肖特基二极管的制备所涉及的工艺均可在室温下进行,具有节约能源、避免材料变质、减少材料浪费、适用范围广泛、成本低等特点。
主权项:1.一种基于背靠背双肖特基结构的毫米波开关器件,其特征在于,自上而下依次包括肖特基毫米波器件层、衬底层和共地金属层;所述肖特基毫米波器件层包括馈电传输线、肖特基电极、半导体层以及欧姆电极;肖特基电极中间制备一条沟道形成电容性结构,半导体层生长于沟道之中;欧姆电极与半导体层连接;馈电传输线分别与沟道两侧左、右的肖特基电极连接,与沟道两侧左、右的肖特基电极最终连接到一起,使得在馈电时,沟道两侧左、右的肖特基电极处于相同电势。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 山东大学 一种基于背靠背双肖特基结构的毫米波开关器件
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