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申请/专利权人：深圳市华迈精创科技有限公司
申请日：2023-09-15
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN221086440U
主分类号：B08B1/12
分类号：B08B1/12;B08B1/32;B08B13/00;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权
摘要：本实用新型公开了一种刷心轴，包括内轴、弹片和转筒，所述内轴的外壁上设置有多个条形槽，所述条形槽沿所述内轴的周向延伸，所述弹片包括斜片和弧形段，所述弹片位于所述条形槽中，且所述斜片的一端固定连接于所述条形槽的一端，所述斜片的另一端连接所述弧形段，所述弧形段位于所述斜片和所述条形槽的底面之间，所述转筒套设于所述内轴的外周，所述转筒上对应多个所述条形槽的位置开设有多个条形孔，所述转筒可在第一位置和第二位置之间转动。本技术方案用于解决现有晶圆片清洁刷的刷心轴存在打滑和刷筒更换不便的问题。
主权项：1.一种刷心轴，其特征在于，包括内轴、弹片和转筒，所述内轴的外壁上设置有多个条形槽，所述条形槽沿所述内轴的周向延伸，所述弹片包括斜片和弧形段，所述弹片位于所述条形槽中，且所述斜片的一端固定连接于所述条形槽的一端，所述斜片的另一端连接所述弧形段，所述弧形段位于所述斜片和所述条形槽的底面之间，所述转筒套设于所述内轴的外周，所述转筒上对应多个所述条形槽的位置开设有多个条形孔，所述转筒可在第一位置和第二位置之间转动，当所述转筒位于第一位置时，所述条形孔和所述条形槽重合，所述弹片的斜片伸出所述条形孔；当所述转筒位于第二位置时，所述条形孔和所述条形槽相互错位，所述弧形段发生弹性形变，所述弹片内置于所述条形槽中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市华迈精创科技有限公司 一种刷心轴
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