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【发明公布】红光垂直结构发光二极管的芯片结构及其制备方法_聚灿光电科技(宿迁)有限公司_202410591370.0 

申请/专利权人:聚灿光电科技(宿迁)有限公司

申请日:2024-05-14

公开(公告)日:2024-06-11

公开(公告)号:CN118173677A

主分类号:H01L33/10

分类号:H01L33/10;H01L33/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.06.28#实质审查的生效;2024.06.11#公开

摘要:本发明涉及发光二极管技术领域,公开红光垂直结构发光二极管的芯片结构及其制备方法,该红光垂直结构发光二极管的芯片结构包括Si衬底、外延结构和电极结构;Si衬底上形成有金属层,外延结构包括依次堆叠在金属层上的N型欧姆接触层、DBR反射层、多量子阱层和P型GaP层;电极结构包括P电极和N电极,P电极形成于P型GaP层的表面,N电极形成于Si衬底的表面。本公开的红光垂直结构发光二极管的芯片结构,通过在外延结构中形成DBR反射层,相较于相关技术中采用的ODR反射层,制备工艺相对简单,且反射率优于现有结构的ODR反射层的反射率,满足当前红光发光二极管越来越高的高亮度需求。

主权项:1.一种红光垂直结构发光二极管的芯片结构,其特征在于,包括Si衬底(011)、外延结构和电极结构;所述Si衬底(011)上形成有金属层(010),所述外延结构包括依次堆叠在所述金属层(010)上的N型欧姆接触层(004)、DBR反射层(005)、多量子阱层(006)和P型GaP层(007);所述电极结构包括P电极(012)和N电极(013),所述P电极(012)形成于所述P型GaP层(007)的表面,所述N电极(013)形成于所述Si衬底(011)的表面;所述DBR反射层(005)包括GaAsAlGaAs叠层,且所述DBR反射层(005)的反射率>95%。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 聚灿光电科技(宿迁)有限公司 红光垂直结构发光二极管的芯片结构及其制备方法

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