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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日：2021-06-30
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN115537717B
主分类号：C23C14/04
分类号：C23C14/04;C23C14/24
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2023.01.20#实质审查的生效;2022.12.30#公开
摘要：本发明实施例公开了一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备，该金属掩模的张网装置包括多个夹持拉伸模块和多个第一运动机构；夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；夹持单元、柔性单元和拉伸单元沿第一方向依次排列；拉伸单元设置于第一运动机构上；第一运动机构带动拉伸单元沿第一方向和或第二方向运动；夹持单元用于夹持并固定位于金属掩模张网区的金属掩模；位移检测单元用于检测对应的拉伸单元的位移信息；其中，各第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一第一运动机构在第一方向上的运动状态与其在第二方向上的运动状态相互独立。
主权项：1.一种金属掩模的张网装置，其特征在于，包括：多个夹持拉伸模块和与多个所述夹持拉伸模块一一对应设置的多个第一运动机构；至少部分所述夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；每个所述夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；所述柔性单元设置于所述夹持单元与所述拉伸单元之间，且所述夹持单元、所述柔性单元和所述拉伸单元沿第一方向依次排列；所述拉伸单元设置于所述第一运动机构上；所述第一运动机构带动所述拉伸单元沿所述第一方向和或第二方向运动，所述拉伸单元拉伸所述柔性单元，以使所述柔性单元发生形变，并带动所述夹持单元在所述第一方向和或所述第二方向上发生位移；其中，所述第一方向与所述第二方向交叉；所述夹持单元用于夹持并固定位于所述金属掩模张网区的金属掩模；所述位移检测单元用于检测对应的所述拉伸单元的位移信息；其中，各所述第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一所述第一运动机构在所述第一方向上的运动状态与其在所述第二方向上的运动状态相互独立。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 金属掩模的张网装置及其方法、张网设备
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