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申请/专利权人：合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司
申请日：2023-10-13
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN221125911U
主分类号：H01L21/68
分类号：H01L21/68;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权
摘要：本实用新型公开的属于晶圆划片技术领域，具体为一种应用于晶圆划片的气浮运动平台，包括加工平台，还包括：导向板，所述加工平台的两端均固定安装导向板，所述直线电机固定安装在加工平台上，且直线电机位于两组导向板之间，所述滑台设在直线电机上，且滑台与导向板滑动连接，所述陶瓷调整垫设在导向板和滑台之间，其陶瓷调整垫通过气垫安装板固定安装在滑台上，且陶瓷调整垫与导向板相接触，本实用新型通过在导向板顶部、侧面设计陶瓷材质的陶瓷调整垫，具有能够在导向板顶端及侧面形成气膜，构建气浮条件，保证滑台在移动过程中的稳定性。
主权项：1.一种应用于晶圆划片的气浮运动平台，包括加工平台，其特征在于，还包括：导向板8，所述加工平台的两端均固定安装导向板8；直线电机20，所述直线电机20固定安装在加工平台上，且直线电机20位于两组导向板8之间；滑台12，所述滑台12设在直线电机20上，且滑台12与导向板8滑动连接；陶瓷调整垫15，所述陶瓷调整垫15设在导向板8和滑台12之间，其陶瓷调整垫15通过气垫安装板固定安装在滑台12上，且陶瓷调整垫15与导向板8相接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司 一种应用于晶圆划片的气浮运动平台
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