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申请/专利权人：东莞市兆广电子材料有限公司
申请日：2024-05-06
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118186358A
主分类号：C23C14/56
分类号：C23C14/56
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种真空镀膜机吸附板防掉屑方法，包括以下步骤：步骤一、将吸附板的金属薄膜表面进行物理除屑或使用设备加热方式，将热喷涂金属的尖屑熔融，使其结构坚固不掉屑；步骤二、超声波清洗附板金属薄膜表面，清洗吸附板金属薄膜表面的金属微尘及金属尖屑；步骤三、在清洗完成之后的吸附板表面涂布特殊树脂材料；步骤四、树脂干燥；步骤五、使用特定粘度胶带粘黏吸附板的表面，胶带粘黏的粉尘，使用显微镜观察并拍照后，拍照图片使用软件判断污染颗粒数量和相对颗粒总面积；本发明为吸附板表面洁净方法，成功解决金属尘残留；洁净工艺，有效清除吸附板上的薄膜微孔内，残留的金属尘污染，改善真空镀膜设备生产良率，与降低靶材节瘤机率。
主权项：1.一种真空镀膜机吸附板防掉屑方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将吸附板的金属薄膜表面进行物理除屑，使吸附板表面的金属熔丝堆叠而成的金属尖屑脱落下来，或使用设备加热方式，将热喷涂金属的尖屑熔融，使其结构坚固不掉屑；步骤二、超声波清洗吸附板金属薄膜表面，清洗掉吸附板金属薄膜表面的金属微尘及金属尖屑；步骤三、在清洗完成之后的吸附板表面涂布树脂材料；步骤四、树脂干燥；步骤五、使用特定粘度胶带粘黏吸附板的表面，胶带粘黏的粉尘，使用显微镜观察并拍照后，拍照图片使用软件判断污染颗粒数量和相对颗粒总面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市兆广电子材料有限公司 一种真空镀膜机吸附板防掉屑方法
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