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申请/专利权人：麦斯卓微电子(南京)有限公司
申请日：2019-11-10
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN113272982B
主分类号：H10N30/01
分类号：H10N30/01;H10N30/20;H10N30/88;H02N2/04
优先权：["20181109 US 62/758,229"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2023.02.03#专利申请权的转移;2022.01.04#实质审查的生效;2021.08.17#公开
摘要：一种生成压电致动器的方法包括：在刚性衬底上形成压电构件；以及去除刚性衬底的一个或多个部分以在刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定压电构件的至少一个可变形部分和压电构件的至少一个刚性部分。
主权项：1.一种生成压电致动器的方法，包括：在刚性衬底上形成压电构件，其中，所述压电构件包括在刚性衬底上的第一电极层，第二电极层和压电材料层，形成所述压电构件包括：在所述刚性衬底的第一表面上形成一个或多个凹部；用填充材料填充所述刚性衬底的所述第一表面上的所述一个或多个凹部；抛光所述刚性衬底的所述第一表面以从所述刚性衬底的所述第一表面去除任何填充材料；以及在所述刚性衬底上的所述第一表面上形成所述第一电极层，所述第一电极层至少部分地将所述填充材料封装在所述一个或多个凹部内；去除所述刚性衬底的一个或多个部分以在所述刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定所述压电构件的至少一个可变形部分和所述压电构件的至少一个刚性部分，其中，去除包括将第一抗蚀剂掩模施加到所述刚性衬底的所述第一表面上的所述第二电极层以及将第二抗蚀剂掩模施加到所述刚性衬底的第二表面；以及在升高到大约150摄氏度的温度下轮询所述压电致动器以调节所述压电材料层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯卓微电子(南京)有限公司 压电致动器制造方法
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