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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日：2021-11-26
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN114185270B
主分类号：G05B13/04
分类号：G05B13/04;G01B11/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2022.04.01#实质审查的生效;2022.03.15#公开
摘要：本公开提供一种用于精密运动平台的模型预测运动控制方法及其系统，用于控制精密运动平台，用于精密运动平台的模型预测运动控制方法包括以下步骤：获取位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据；根据位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据，得到预测数据以及补偿数据；根据预测数据以及补偿数据，得到当前时刻的运动平台输入数据。在本公开提供的技术方案中，通过过往多个时刻的平台位置数据与位置输入数据产生预测数据，并同时针对预测数据产生补偿数据，进行动态调整，采用具有预测性质的控制方法来提前估计误差，能够根据平台位置数据，实时跟踪精密运动平台产生的误差，并根据误差控制计算精密运动平台实际的控制输入，提高精密运动平台跟踪精度。
主权项：1.一种用于精密运动平台的模型预测运动控制方法，用于控制精密运动平台，其特征在于，包括以下步骤：获取位置输入数据以及过往多个时刻的运动平台位置数据；根据所述位置输入数据以及过往多个时刻的所述运动平台位置数据，得到预测数据以及补偿数据，包括：根据所述位置输入数据以及过往多个时刻的所述运动平台位置数据，得到所述预测数据；根据所述位置输入数据以及所述预测数据，得到所述补偿数据；根据所述预测数据以及所述补偿数据，得到当前时刻的运动平台输入数据；其中，根据所述位置输入数据以及所述预测数据，得到所述补偿数据的步骤中，满足以下关系： yf为所述补偿数据，K1与K2为预设可调增益，yd为所述位置输入数据，yp为所述预测数据，z代表拉氏变换因子，ts是被控对象的采样时间；K1与K2两个所述预设可调增益满足以下关系： |K2|≤ε其中，a、b为设定影响因子，d为偏移常量，ε为K2的取值边界，yd为所述位置输入数据，y为运动平台输出数据，z代表拉氏变换因子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 用于精密运动平台的模型预测运动控制方法及其系统
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