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申请/专利权人：成都稳正科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多模圆柱谐振腔MPCVD等离子体加工装置，属于MPCVD等离子体加工装置技术领域，其技术方案要点包括装置本体和泄漏在线监测系统，所述装置本体的内壁栓接有观察结构，所述观察结构的前侧活动连接有封闭门，所述封闭门的前侧栓接有限位组件，所述观察结构的顶部设置有气压监测表组件，解决现有的多模圆柱谐振腔MPCVD等离子体加工装置大多未设置气压实时监测的结构，当多模圆柱谐振腔MPCVD等离子体加工装置出现气压泄露时，容易导致合成的金刚石中掺有杂质，影响金刚石的品质，目前市面上常见的测试方式是定期抽查，因设备使用环境较为复杂，定期抽查不便于进行快速检测到气压泄露，影响后续加工品质。
主权项：1.一种多模圆柱谐振腔MPCVD等离子体加工装置，包括装置本体1和泄漏在线监测系统2，其特征在于：所述装置本体1的内壁栓接有观察结构4，所述观察结构4的前侧活动连接有封闭门5，所述封闭门5的前侧栓接有限位组件6，所述观察结构4的顶部设置有气压监测表组件7，所述装置本体1的顶部设置有警报组件3；所述泄漏在线监测系统2包括控制终端201、气压监测模块202、警报模块203、无线传输模块204和用户终端205，所述泄漏在线监测系统2的输入端单向电性连接有供电模块206，所述气压监测模块202的输出端与控制终端201的输入端单向电性连接，所述控制终端201的输出端与警报模块203的输入端单向电性连接，所述控制终端201的输出端与无线传输模块204的输入端单向电性连接，所述无线传输模块204的输出端与用户终端205的输入端单向电性连接，所述警报组件3为警报模块203，所述气压监测模块202为气压监测表组件7。
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