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申请/专利权人：无锡京运通科技有限公司
申请日：2023-11-15
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149959U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;B08B3/12;B08B3/10;B08B3/02;B08B13/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型公开了一种循环清洗机，包括超声波清洗槽，所述超声波清洗槽的一侧外壁固定连接有泵体，超声波清洗槽的两侧内壁之间固定连接有多个盖板，盖板的底部固定连接有分水管，分水管的底部插接有多个喷头，所述泵体的出液端插接有出水管，出水管的另一端套接有通水管，通水管与分水管连通，泵体的进液端与超声波清洗槽连通，所述通水管的两端均套接有第一密封盖，分水管的一端套接有第二密封盖。本实用新型通过在泵体的作用下使得水输入到分水管内，然后，从喷头喷出，从而使得水喷向超声波清洗槽内的水，进而使得水拨动，于是更好地对硅片进行清洗，从而提高硅片的清洗效率。
主权项：1.一种循环清洗机，包括超声波清洗槽1，其特征在于，所述超声波清洗槽1的一侧外壁固定连接有泵体2，超声波清洗槽1的两侧内壁之间固定连接有多个盖板3，盖板3的底部固定连接有分水管4，分水管4的底部插接有多个喷头5，所述泵体2的出液端插接有出水管7，出水管7的另一端套接有通水管6，通水管6与分水管4连通，泵体2的进液端与超声波清洗槽1连通，所述通水管6的两端均套接有第一密封盖8，分水管4的一端套接有第二密封盖9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡京运通科技有限公司 一种循环清洗机
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