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申请/专利权人：深圳市卓兴半导体科技有限公司
申请日：2023-09-22
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149966U
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本申请提出了一种基板移动系统，包括前输送机构、中输送机构、后输送机构、左输送机构和右输送机构；中输送机构包括第一机座、两个线体移动杆、两个第一线体输送带、若干线体升降推杆和若干线体驱动推杆；两个线体移动杆并排设置，且线体移动杆沿左右方向滑动设于第一机座上；两个第一线体输送带一一对应设置于两个线体移动杆上；若干线体升降推杆对应设置于两个线体移动杆上，线体升降推杆相对于线体移动杆沿上下方向滑动设置；若干线体驱动推杆对应设置于两个线体移动杆上，线体驱动推杆相对于线体移动杆沿上下方向滑动设置；本申请可以兼容不同尺寸的基板。
主权项：1.一种基板移动系统，其特征在于，包括中输送机构；所述中输送机构包括第一机座、两个线体移动杆、两个第一线体输送带、若干线体升降推杆和若干线体驱动推杆；两个所述线体移动杆并排设置，且所述线体移动杆沿左右方向滑动设于所述第一机座上；两个所述第一线体输送带一一对应设置于两个所述线体移动杆上，且所述第一线体输送带的输送方向为前后方向；若干所述线体升降推杆对应设置于两个所述线体移动杆上，所述线体升降推杆相对于所述线体移动杆沿上下方向滑动设置，所述线体升降推杆的上端配置于抵接基板；若干所述线体驱动推杆对应设置于两个所述线体移动杆上，所述线体驱动推杆相对于所述线体移动杆沿上下方向滑动设置，所述线体驱动推杆配置于驱动所述基板移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市卓兴半导体科技有限公司 基板移动系统
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