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申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司
申请日：2024-02-22
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118207633A
主分类号：C30B31/16
分类号：C30B31/16
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：一种扩散炉用12英寸石英管更换装置及更换方法，该装置包括能够升降的固定平台以及用于插入石英管内的装卸杆，装卸杆设置在固定平台上并能沿其长度方向移动；装卸杆包括盲管部和抽拉部，抽拉部头部滑设在盲管部管内且不可脱落，盲管部的内部设有活塞。本发明中盲管部和抽拉部滑动插设连接，两者之间因存活塞的存在形成气压腔，抽拉部能在盲管部插入石英管内后，推着活塞滑动，将气压腔内部分空气排出，在抽拉部回移的时候，因复位弹簧带着活塞回移，使气压腔产生负压，从而使弧形真空吸盘吸附在石英管的内部内壁上，装卸杆移动过程中会使自身气压腔能够产生真空抽吸的作用，巧妙的优化了自身结构，从而带来额外的功能，达到降本增效的技术效果。
主权项：1.一种扩散炉用12英寸石英管更换装置，其特征在于：包括能够升降的固定平台4以及用于插入石英管内的装卸杆10，装卸杆10设置在固定平台4上并能沿其长度方向移动；所述装卸杆10包括盲管部102和抽拉部101，抽拉部101头部滑设在盲管部102管内且不可脱落，盲管部102的内部设有活塞24，活塞24与盲管部102的内部端壁之间形成气压腔20，盲管部102的周侧上设有多个能与石英管内侧接触的弧形真空吸盘12，弧形真空吸盘12内部与气压腔20连通；所述盲管部102的尾部设有定位块17，固定平台4上设有位于定位块17移动路径上的限位块15，气压腔20内设有限位件21，限位件21与活塞24之间设有复位弹簧22，当定位块17和限位块15接触时，随着抽拉部101的前移，抽拉部101驱动活塞24对复位弹簧22进行压缩。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种扩散炉用12英寸石英管更换装置及更换方法
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