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申请/专利权人：先进工程解决方案全球控股私人有限公司
摘要：本公开内容描述了用于制造和使用远程等离子体源上的单匝线圈以减小线圈与等离子体之间的电容性耦合和或用于制造和使用包括减小线圈与等离子体之间的电容性耦合的至少一个导电层的层压腔室壁的系统、方法和装置。在使用层压腔室壁的情况下，线圈可以是单匝或多匝线圈。可以使用添加工艺将一个或多个导电层熔合或接合到下层例如，电介质层以及将最终层例如，电介质熔合或接合到最外面的导电层。此外，公开了一种方法，其中在等离子体点火期间对层压体内的导电层进行偏置，并且然后在点火之后减小偏置。
主权项：1.一种具有延长的寿命的远程等离子体源腔室，所述远程等离子体源腔室被配置为用于耦合到处理腔室，所述远程等离子体源腔室包括：圆柱形腔室，所述圆柱形腔室具有：包括电介质的内部部分；包括电介质的外部部分；导电中间部分，所述导电中间部分在所述内部部分与所述外部部分之间，所述导电中间部分限定一个或多个磁场通道窗口；以及导电线圈，所述导电线圈布置在所述圆柱形腔室外部但是与所述圆柱形腔室接触，所述导电线圈包括多个分开的线圈部分，每个线圈部分包括第一端部和第二端部，所述第一端部被配置为用于耦合到交流电源的高电压节点，所述第二端部被配置为用于耦合到所述交流电源的低电压节点或接地节点；以及偏置电路，所述偏置电路被配置为在以不同偏置来偏置相邻的线圈部分和以相同偏置来偏置每个线圈部分之间进行切换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 单匝和层压壁电感耦合等离子体源
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