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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2022-11-14
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN116487288B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：["20220124 JP 2022-008809"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2023.11.03#实质审查的生效;2023.07.25#公开
摘要：本发明提供一种处理腔室及基板处理装置。处理腔室10在内部空间收容被处理基板并实施规定处理，处理腔室10包括：腔室主体11；盖部12，具有从上方覆盖并封闭腔室开口的盖体；铰链部13，使盖部绕大致水平的摆动轴摆动自如地与腔室主体结合；以及开闭部30，使盖部绕摆动轴摆动，并在盖体覆盖开口的关闭状态与盖体使开口开放的打开状态之间进行切换。开闭部具有可动构件34与驱动机构32，可动构件在盖体从打开状态趋向关闭状态时抵接部位进行位移的路径上且在比抵接部位更靠前方的位置，相对于抵接部位分离抵接自如地设置。驱动机构通过使可动构件与抵接部位抵接的位置发生变化来使盖部的打开量变化。
主权项：1.一种处理腔室，用于在内部空间收容被处理基板并实施规定的处理，所述处理腔室包括：腔室主体，在上部具有开口并设有能够收容所述被处理基板的内部空间；盖部，具有从上方覆盖并封闭所述开口的盖体；铰链部，使所述盖部绕大致水平的摆动轴摆动自如地与所述腔室主体结合；以及开闭部，使所述盖部绕所述摆动轴摆动，并在所述盖体抵接于所述腔室主体的上部而覆盖所述开口的关闭状态、与所述盖体从所述开口远离而使所述开口开放的打开状态之间进行切换，并且所述开闭部具有与所述盖部中不在所述摆动轴上的抵接部位抵接的可动构件、以及对所述可动构件进行移动定位的驱动机构，在所述可动构件不抵接的状态下，所述盖体为所述关闭状态，所述可动构件在所述盖体从所述打开状态趋向所述关闭状态时所述抵接部位进行位移的路径上且在所述位移方向上比所述抵接部位更靠前方的位置，相对于所述抵接部位分离抵接自如地设置，并通过与所述抵接部位抵接来限制所述抵接部位向所述位移方向的位移，所述驱动机构使所述可动构件沿着所述路径移动，而使所述可动构件与所述抵接部位抵接时的所述可动构件的位置发生变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 处理腔室及基板处理装置
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