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申请/专利权人：魅杰光电科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光纤微调结构和半导体检测设备，所述光纤微调结构包括安装单元、第一微调单元和第二微调单元。其中，安装单元上开设有第一光纤安装孔；第一微调单元可移动设置于安装单元上，第一微调单元上开设有第二光纤安装孔，且第二光纤安装孔与第一光纤安装孔同轴设置，第一微调单元用于沿第一方向调节第二光纤安装孔内插入的光纤；第二微调单元可移动设置于第一微调单元上，第二微调单元上开设有第三光纤安装孔，第三光纤安装孔与第二光纤安装孔同轴设置。本实用新型能够实现高精度角度调整，解决了现有的半导体检测设备由于加工误差光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围的问题。
主权项：1.一种光纤微调结构，其特征在于，包括：安装单元，所述安装单元上开设有第一光纤安装孔；第一微调单元，所述第一微调单元可移动设置于所述安装单元上，所述第一微调单元上开设有第二光纤安装孔，且所述第二光纤安装孔与所述第一光纤安装孔同轴设置，所述第一微调单元用于沿第一方向调节所述第二光纤安装孔内插入的光纤；第二微调单元，所述第二微调单元可移动设置于所述第一微调单元上，所述第二微调单元上开设有第三光纤安装孔，所述第三光纤安装孔与所述第二光纤安装孔同轴设置，所述第二微调单元用于沿第二方向调节所述第三光纤安装孔内插入的光纤，所述第二方向与所述第一方向垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 魅杰光电科技(上海)有限公司 一种光纤微调结构和半导体检测设备
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