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申请/专利权人：欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
申请日：2022-10-04
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118234886A
主分类号：C23C14/06
分类号：C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34
优先权：["20211022 DE 102021005266.8"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及借助涂覆装置和用于提供非反应性离子的装置在基材上形成涂层的方法，其特征在于，向基材施加负偏压以对沉积在基材上的材料进行离子轰击，从而增加沉积材料的密度。
主权项：1.一种在基材上形成涂层的方法，其包括以下步骤：-将基材安装在真空室内的载体装置上；-提供涂覆装置，所述涂覆装置包括邻近所述载体装置定位的沉积装置形式的至少第一装置，并适于将选定的材料沉积到所述基材上，以及-提供第二装置，所述第二装置适于提供正非反应性离子，和-操作所述涂覆装置以在所述基材上形成选定的涂层，同时沿着选定的路径使所述载体装置和所述涂覆装置中的至少一个相对于彼此周期性地移动，以便为多个类似配置的间隔开的基材提供基本相等的沉积速率，其特征在于，向所述基材施加负偏压以对沉积在所述基材上的选定材料进行离子轰击，从而增加沉积材料的密度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔 通过溅射形成坚硬且超光滑a-C的方法
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皖公网安备 34010402703815号