龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2018-03-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118231309A
主分类号：H01L21/68
分类号：H01L21/68;H01L21/687;H01L21/48;H01L21/67;C25D7/12
优先权：["20170317 US 15/462,765"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及控制衬底接近目标水平面的系统和方法。当衬底保持器围绕旋转轴线旋转时，确定位于衬底保持器的支撑表面上的凹口对准特征相对于远离衬底保持器的旋转轴线垂直延伸的固定参考射线的实时方位角位置。确定凹口对准特征相对于固定参考射线的接近开始方位角位置，在该接近开始方位角位置处衬底保持器的竖直运动应该开始，以便当衬底保持器到达规定竖直位置时使凹口对准特征相对于固定参考射线位于规定方位角位置处。确定使凹口对准特征位于接近开始方位角位置处所需的时间延迟。根据经确定的时间延迟开始衬底保持器的竖直运动。
主权项：1.一种控制衬底向目标水平面接近的方法，包括：绕旋转轴线旋转衬底，所述旋转轴线相对于竖直方向成非零角度，所述衬底位于目标水平面上方，所述衬底具有位于所述衬底外周边的凹口；和当所述衬底继续围绕相对于竖直方向以非零角度定位的所述旋转轴线旋转时，控制所述衬底朝向所述目标水平面的向下的竖直移动，控制所述衬底的向下的竖直移动使得当所述衬底的任何部分首先到达所述目标水平面时，所述衬底的所述凹口处于绕所述旋转轴线的规定方位角位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 控制衬底接近目标水平面的系统和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号