申请/专利权人:杭州富加镓业科技有限公司
申请日:2022-12-21
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN118223126A
主分类号:C30B29/16
分类号:C30B29/16;C30B13/00;C30B25/20;H01L29/24;H01L31/032
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.21#公开
摘要:本发明提供Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料、其制备方法和用途,所述Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料含有Sb5+,所述Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料的分子式为SbxGa1‑x2O3,其中2×10‑9≤x≤0.01。在掺质离子进入晶格浓度相同的前提下,相比掺质其他元素,本发明的Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料可以获得更高的载流子浓度。
主权项:1.一种Sb掺质β-Ga2O3晶体材料,其特征在于,所述Sb掺质β-Ga2O3晶体材料含有Sb5+,所述Sb掺质β-Ga2O3晶体材料的分子式为SbxGa1-x2O3,其中2×10-9≤x≤0.01。
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权利要求:
百度查询: 杭州富加镓业科技有限公司 Sb掺质β-Ga2O3晶体材料、其制备方法和用途
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