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【发明公布】Sb掺质β-Ga2O3晶体材料、其制备方法和用途_杭州富加镓业科技有限公司_202211650798.5 

申请/专利权人:杭州富加镓业科技有限公司

申请日:2022-12-21

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN118223126A

主分类号:C30B29/16

分类号:C30B29/16;C30B13/00;C30B25/20;H01L29/24;H01L31/032

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.21#公开

摘要:本发明提供Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料、其制备方法和用途,所述Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料含有Sb5+,所述Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料的分子式为SbxGa1‑x2O3,其中2×10‑9≤x≤0.01。在掺质离子进入晶格浓度相同的前提下,相比掺质其他元素,本发明的Sb掺质β‑Ga2O3晶体材料可以获得更高的载流子浓度。

主权项:1.一种Sb掺质β-Ga2O3晶体材料,其特征在于,所述Sb掺质β-Ga2O3晶体材料含有Sb5+,所述Sb掺质β-Ga2O3晶体材料的分子式为SbxGa1-x2O3,其中2×10-9≤x≤0.01。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 杭州富加镓业科技有限公司 Sb掺质β-Ga2O3晶体材料、其制备方法和用途

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