申请/专利权人:乐金显示有限公司
申请日:2023-11-24
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN118231474A
主分类号:H01L29/786
分类号:H01L29/786;H01L21/34;H01L27/12
优先权:["20221219 KR 10-2022-0178328"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.21#公开
摘要:本发明提供一种薄膜晶体管、其制造方法和包括该薄膜晶体管的显示装置。所述薄膜晶体管包括有源层和栅电极,所述栅电极与所述有源层间隔开,并且与所述有源层部分交叠,其中,所述有源层包括第一氧化物半导体层和在所述第一氧化物半导体层上的第二氧化物半导体层,其中,所述第一氧化物半导体层具有非晶结构,所述第二氧化物半导体层具有晶体结构。另外,本公开的一个实施方式提供了一种包括所述薄膜晶体管的显示装置。
主权项:1.一种薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括:有源层;以及栅电极,所述栅电极与所述有源层间隔开,并且与所述有源层部分交叠;其中,所述有源层包括:第一氧化物半导体层;以及第二氧化物半导体层,所述第二氧化物半导体层在所述第一氧化物半导体层上;其中,所述第一氧化物半导体层具有非晶结构,所述第二氧化物半导体层具有晶体结构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 乐金显示有限公司 薄膜晶体管、其制造方法和包括该薄膜晶体管的显示装置
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