龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日：2024-03-26
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118231383A
主分类号：H01L23/544
分类号：H01L23/544;H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明提供一种测试结构以及失效分析方法，测试结构包括：多个测试单元、第一金属线、第二金属线以及第三金属线；测试结构由多个测试单元依次连接形成，测试单元中设置有多个CT，第一金属线依次连接相邻的两个CT；多个测试单元在第一方向上通过第二金属线连接，形成链式结构；多个链式结构在第二方向上通过第三金属线连接，多个测试单元依次连接呈蛇形排布；其中，多个测试单元位于同一层级，第一金属线位于测试单元的上层，第二金属线位于第一金属线的上层，第三金属线位于第二金属线的上层。如此配置，能够同时满足SCM的测试要求，模拟产线制程要求和失效分析要求，并能够在产生栅极CT高阻问题时，实现精准定位，提升失效分析的成功率。
主权项：1.一种测试结构，其特征在于，包括：多个测试单元、第一金属线、第二金属线以及第三金属线；所述测试结构由多个所述测试单元依次连接形成，所述测试单元中设置有多个CT，所述第一金属线依次连接相邻的两个所述CT；多个所述测试单元在第一方向上通过所述第二金属线连接，形成链式结构；多个所述链式结构在第二方向上通过所述第三金属线连接，多个所述测试单元依次连接呈蛇形排布；所述测试结构包括多个层级，其中，多个所述测试单元位于同一层级，所述第一金属线位于所述测试单元的上一层级，所述第二金属线位于所述第一金属线的上一层级，所述第三金属线位于所述第二金属线的上一层级。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 测试结构以及失效分析方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号