申请/专利权人：武汉理工大学;武汉锐泽科技发展有限公司

申请日：2022-09-15

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN115415251B

主分类号：B08B7/00

分类号：B08B7/00;B23K26/082

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明涉及一种音圈电机转镜激光清洗系统及其清洗方法，该系统包括：激光发射器、前聚焦扫描振镜、音圈电机以及双轴快速转向镜；激光发射器，用于产生初始激光并经过激光通道照射至所述前聚焦扫描振镜；前聚焦扫描振镜，用于对初始激光进行聚焦得到清洗激光；音圈电机，用于根据待清洗部位调整双轴快速转向镜的倾斜角度；双轴快速转向镜，用于反射所述清洗激光将所述清洗激光照射至待清洗部位进行清洗。本发明提供的一种音圈电机转镜激光清洗系统及其清洗方法，可以通过音圈电机根据实际需要调整双轴快速转向镜的角度，以改变清洗部位。

主权项：1.一种音圈电机转镜激光清洗系统，其特征在于，包括：激光发射器、前聚焦扫描振镜、音圈电机以及双轴快速转向镜；所述激光发射器，用于产生初始激光并经过激光通道照射至所述前聚焦扫描振镜；所述前聚焦扫描振镜，用于对所述初始激光进行聚焦得到清洗激光；所述音圈电机，用于根据待清洗部位调整所述双轴快速转向镜的倾斜角度；所述双轴快速转向镜，用于反射所述清洗激光将所述清洗激光照射至所述待清洗部位进行清洗；其中，通过音圈电机根据待清洗部位调整双轴快速转向镜的倾斜角度，包括：基于L1自适应控制算法建立音圈电机控制系统，获取音圈电机控制系统的系统参数和扰动参数；根据系统参数和扰动参数建立音圈电机模型；通过音圈电机模型和待清洗部位调整双轴快速转向镜的角度；其中，根据系统参数和扰动参数建立音圈电机模型，包括：根据音圈电机控制系统、系统参数和扰动参数建立音圈电机数学模型；根据音圈电机数学模型、系统参数和扰动参数建立音圈电机动态模型；音圈电机数学模型如下： ；（1）音圈电机动态模型如下： ；（2）其中，为输入信号的状态向量，为约束条件，为已知的常数向量，为已知的矩阵，要求是可控的模型参数，未知参数，是设定的紧凸集，是时变干扰，为系统输出信号，是音圈电机数学模型的总输入信号，是音圈电机动态模型的总输入信号；其中，所述通过所述音圈电机模型和所述待清洗部位调整所述双轴快速转向镜的倾斜角度，包括：根据所述系统参数、所述音圈电机动态模型和所述待清洗部位确定音圈电机的输出信号；根据所述音圈电机的输出信号调整所述双轴快速转向镜的角度；其中，所述根据所述系统参数、所述音圈电机动态模型和所述待清洗部位确定音圈电机的输出信号，包括：获取所述音圈电机转镜激光清洗系统的增益常量，根据所述增益常量和所述系统参数确定状态反馈矩阵；根据所述状态反馈矩阵和所述音圈电机动态模型得到状态预测模型；根据所述状态预测模型和所述待清洗部位得到音圈电机的输出信号；状态反馈矩阵的计算公式如下： ；（3）其中，K是增益常量，为K的转置，为状态反馈矩阵；根据公式（2）和公式（3）可得状态预测模型为： ；（4）其中，分别为音圈电机动态模型中的相关估计值。

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权利要求：

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