申请/专利权人：海南师范大学

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN117566744B

主分类号：C01B33/037

分类号：C01B33/037

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2024.03.08#实质审查的生效;2024.02.20#公开

摘要：本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法，包括炉体、观察窗、入料机构、摆动组件、真空组件、电子枪、电子束、铺平组件、闭合组件、支撑杆、电动杆、熔炼坩埚、冷水管、凝固坩埚，本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法，本发明提供了一种硅材料提纯装置及其使用方法，通过设置摆动组件和铺平组件，将投入原料硅分点投放，避免原料硅在熔炼坩埚内过分集中、堆积，通过装配体的转动，使装配体与熔炼坩埚平行，并驱动铺平架的移动，对原料硅进行铺平，使原料硅各处厚度相近，便于后续快速、均匀的融练，该摆动组件和铺平组件从源头避免了原料硅的堆积，便于后续均匀、快速的融练原料硅。

主权项：1.一种硅材料提纯装置，其特征在于：包括炉体（1）、观察窗（2）、入料机构（3）、摆动组件（4）、真空组件（5）、电子枪（6）、电子束（7）、铺平组件（8）、闭合组件（9）、支撑杆（10）、电动杆（11）、熔炼坩埚（12）、冷水管（13）、凝固坩埚（14）；所述炉体（1）的左端设置有观察窗（2），且其顶端安装有入料机构（3）；所述摆动组件（4）安装于炉体（1）的内部，所述真空组件（5）安装于炉体（1）的顶端；所述电子枪（6）安装于炉体（1）的顶端，且其右端与真空组件（5）相连接，所述电子枪（6）向下发出电子束（7），照射至熔炼坩埚（12）；所述铺平组件（8）安装于炉体（1）的内部，所述闭合组件（9）安装于炉体（1）的右端，且其左端与熔炼坩埚（12）相契合；所述支撑杆（10）和电动杆（11）的底端分别与炉体（1）相固定，且其顶端均与熔炼坩埚（12）转动连接；所述熔炼坩埚（12）的内部设置有冷水管（13），所述凝固坩埚（14）放置于炉体（1）的内部；所述铺平组件（8）包括气缸（81）、连接架（82）、齿条（83）、齿轮（84）、装配体（85）、支撑块（86）、电机（87）、丝杆（88）、滑座（89）、铺平架（810）；所述气缸（81）安装于炉体（1）的内部，且其顶端与连接架（82）锁紧固定，所述连接架（82）的顶端固定有齿条（83），所述齿条（83）的右端与齿轮（84）啮合连接，所述齿轮（84）固定于装配体（85）的前端外侧，所述装配体（85）的后端与支撑块（86）转动连接，且其前端与炉体（1）转动连接，所述支撑块（86）的左端与炉体（1）相固定，所述装配体（85）的内部安装有电机（87），所述电机（87）的前端采用联轴器与丝杆（88）传动连接，所述丝杆（88）的前端与装配体（85）活动连接，所述滑座（89）的内侧与丝杆（88）螺纹连接，且其底端固定有铺平架（810），所述齿条（83）、齿轮（84）、装配体（85）、支撑块（86）、电机（87）、丝杆（88）、滑座（89）、铺平架（810）组成活动组（A），所述活动组（A）设置有两组，对称设置于熔炼坩埚（12）的左右两端，所述连接架（82）的横截面呈“凹”状，其左右两侧顶端分别与两组活动组（A）锁紧固定，所述电动杆（11）的伸长，使熔炼坩埚（12）的左端抬高，形成向下倾斜的状态，快速、大量的将液体硅倒入凝固坩埚（14）的内部；所述摆动组件（4）包括安装板（41）、转动板（42）、安装座（43）、连接座（44）、转动连接板（45）、第二连接座（46）、螺纹杆（47），所述安装板（41）的顶端与炉体（1）锁紧固定，且其底端转动连接有转动板（42），所述转动板（42）的顶端固定有安装座（43），所述安装座（43）与连接座（44）转动连接，所述连接座（44）的顶端与转动连接板（45）转动连接，所述转动连接板（45）的顶端与第二连接座（46）转动连接，所述第二连接座（46）的顶端转动连接有螺纹杆（47），所述螺纹杆（47）与炉体（1）螺纹连接，所述闭合组件（9）包括外壳（91）、伺服电机（92）、第二丝杆（93）、滑台（94）、导向连接杆（95）、支撑连接座（96）、契合板（97），所述外壳（91）安装于炉体（1）的右端，且其内部安装有伺服电机（92），所述伺服电机（92）的左端采用联轴器与第二丝杆（93）传动连接，所述滑台（94）的内侧与第二丝杆（93）螺纹连接，所述滑台（94）的外侧固定有导向连接杆（95），所述导向连接杆（95）的左端与支撑连接座（96）相固定，且其外侧与炉体（1）滑动连接，所述支撑连接座（96）的左端固定有契合板（97），所述契合板（97）的左端与熔炼坩埚（12）相契合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 海南师范大学 一种硅材料提纯装置及其使用方法

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