申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2021-05-13

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN113267431B

主分类号：G01N15/1031

分类号：G01N15/1031;G01N15/06;G01N27/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2021.09.03#实质审查的生效;2021.08.17#公开

摘要：本发明提供一种颗粒物清洁度检测方法，包括以下步骤：将浸泡液取至预设容器内；对浸泡液的颗粒物数量进行检测，并判断检测到的浸泡液的颗粒物数量是否满足预设的第一标准；若是，则采用浸泡液对待检测件进行颗粒物检测，其中，待检测件为已进行清洁处理的机械加工件。本发明提供的颗粒物清洁度检测方法，能够降低检测结果的误差，提高检测结果的准确度，从而提高检测结果的可靠性和稳定性，进而降低半导体设备的零部件对半导体工艺结果的影响。

主权项：1.一种颗粒物清洁度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：将浸泡液取至预设容器内；对所述浸泡液的颗粒物数量进行检测，并判断检测到的所述浸泡液的颗粒物数量是否满足预设的第一标准；若是，则采用所述浸泡液对待检测件进行颗粒物检测，其中，所述待检测件为已进行清洁处理的机械加工件；所述若检测到的所述浸泡液的颗粒物数量满足预设的所述第一标准，则采用所述浸泡液对所述待检测件进行颗粒物检测包括以下步骤：对所述浸泡液中的颗粒物数量进行检测，并将检测到的所述浸泡液中的颗粒物数量作为第一检测值；将所述待检测件浸没在所述浸泡液中；对浸有所述待检测件的所述浸泡液进行超声震荡第一预设时间并静置，其中，所述第一预设时间为所述待检测件表面颗粒经震荡可全部脱落的时间；检测超声震荡所述第一预设时间并静置后的所述浸泡液中的颗粒物数量，并将检测到的所述浸泡液中的颗粒物数量作为第二检测值；计算所述第二检测值与所述第一检测值的差值，并判断所述差值是否满足预设的第二标准，若是，则所述待检测件的颗粒物清洁度合格；所述第一预设时间的获得包括以下步骤：在进行所述颗粒物清洁度检测之前，对浸有所述待检测件的所述浸泡液进行N次超声震荡并静置，并在每次超声震荡并静置之后，对所述浸泡液的氢离子浓度指数和电阻值进行检测，若第t+1次检测到的超声震荡并静置后的所述浸泡液的氢离子浓度指数和电阻值，与第t次检测到的超声震荡并静置后的所述浸泡液的氢离子浓度指数和电阻值相等，则将第1次到第t次对浸有所述待检测件的所述浸泡液进行超声震荡的时间之和作为所述第一预设时间，其中，N为大于或等于2的正整数，t为大于或等于1的正整数，且t+1小于或等于N；在将所述待检测件浸没在所述浸泡液中时，使所述待检测件的顶部距离所述浸泡液的顶面第一预设距离，并使所述待检测件的底部距离所述浸泡液的底面第二预设距离，在检测超声震荡所述第一预设时间并静置后的所述浸泡液中的颗粒物数量时，在所述待检测件的顶部上方第三预设距离处取样；所述第一预设距离为85mm-115mm；所述第二预设距离为25mm-35mm；所述第三预设距离为25mm-35mm。

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