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申请/专利权人：苏州艾默特材料技术有限公司
申请日：2023-09-12
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192327U
主分类号：C23C16/46
分类号：C23C16/46
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本申请涉及金属有机化合物气相沉积领域，公开了一种金属有机化合物气相沉积设备及其加热器，包括：用于与金属有机化合物气相沉积设备固定连接的安装座；加热器主体，加热器主体包括石墨发热芯体和热解氮化硼涂层，热解氮化硼涂层包裹在石墨发热芯体的表面；用于连接加热器主体和安装座的紧固件；加热器主体与安装座的连接区域未分布有热解氮化硼涂层。加热器主体包括石墨发热芯体和热解氮化硼涂层，石墨热膨胀系数小，在反复的快速升降温过程中不易扭曲变形，所以加热器不易发生变形，从而提高加热器结构稳定性和热场均匀性，同时延长加热器的使用寿命。热解氮化硼涂层性能稳定，且高低温快速变化时不会产生裂纹，可以延长加热器的使用寿命。
主权项：1.一种加热器，其特征在于，包括：用于与金属有机化合物气相沉积设备固定连接的安装座；加热器主体，所述加热器主体包括石墨发热芯体和热解氮化硼涂层，所述热解氮化硼涂层包裹在所述石墨发热芯体的表面；用于连接所述加热器主体和所述安装座的紧固件；所述加热器主体与所述安装座的连接区域未分布有所述热解氮化硼涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州艾默特材料技术有限公司 一种金属有机化合物气相沉积设备及其加热器
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