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申请/专利权人：安徽美达伦光伏科技有限公司
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192328U
主分类号：C23C16/46
分类号：C23C16/46;C23C16/50
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种PECVD设备的基片加热机构，涉及太阳能电池设备技术领域，包括加热炉体以及盖合在加热炉体上的炉盖，所述炉盖底部设有第一加热盘，所述加热炉体捏转动连接有转轴，所述转轴上套接承载板，所述承载板内滑动连接有顶板，所述顶板上设有多个限位单元，所述限位单元包括四个凸起，所述承载板顶部开设有多个通孔，各所述通孔与各所述凸起一一对应地滑动连接，所述顶板与转轴之间设有驱动顶板竖直滑动的传动组件，所述加热炉体底部设有驱动件。该PECVD设备的基片加热机构先将基片放入限位单元内，在需要双面同步镀膜时，通过传动组件将顶板抬升，限位单元同步抬升使基片与承载板之间产生间隙，对基片进行双面膜层沉积，提高镀膜效率。
主权项：1.一种PECVD设备的基片加热机构，其特征在于，包括加热炉体1以及盖合在炉体顶部开口处的炉盖4，所述炉盖4的底部设有第一加热盘7，所述炉体捏转动连接有一转轴8，所述转轴8上套接一承载板14，所述承载板14内滑动连接有一顶板11，所述顶板11上设有多个限位单元，所述限位单元包括四个凸起19，所述承载板14顶部开设有多个通孔15，各所述通孔15与各所述凸起19一一对应地滑动连接，所述顶板11与转轴8之间设有驱动顶板11竖直滑动的传动组件，所述炉体的底部设有驱动转轴8转动的驱动件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽美达伦光伏科技有限公司 一种PECVD设备的基片加热机构
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