龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：三星显示有限公司
申请日：2023-09-06
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192285U
主分类号：C23C14/04
分类号：C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16
优先权：["20220906 KR 10-2022-0112598"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：提供了一种沉积设备，所述沉积设备包括：沉积构件，提供沉积材料；台，包括第一后表面、与第一后表面相对的第一前表面以及第一内侧表面，第一内侧表面延伸到第一后表面和第一前表面并且限定第一开口；掩模，设置在第一前表面上；以及散热板，设置在沉积构件与台之间，并且覆盖第一后表面和第一内侧表面。所述沉积设备可以防止掩模框架由于沉积工艺中的热量而热变形。
主权项：1.一种沉积设备，其特征在于，所述沉积设备包括：沉积构件，提供沉积材料；台，包括：第一后表面，面对所述沉积构件；第一前表面，与所述第一后表面相对；以及第一内侧表面，延伸到所述第一后表面和所述第一前表面，限定第一开口，并且相对于所述第一前表面和所述第一后表面中的每个倾斜；多个掩模，设置在所述第一前表面上；以及散热板，设置在所述沉积构件与所述台之间，并且覆盖所述第一后表面和所述第一内侧表面。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号