申请/专利权人:强一半导体(苏州)股份有限公司
申请日:2024-04-07
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118244087A
主分类号:G01R31/28
分类号:G01R31/28;G01R1/073
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本申请公开一种用于存储芯片测试的探针卡,包括:覆盖有绝缘薄膜的底座、布置在底座上表面的印刷电路板、高度可调地布置在印刷电路板上侧的陶瓷板组件、布置在陶瓷板组件和印刷电路板之间的若干个弹簧针连接器、设置在陶瓷板组件上表面的若干个探针以及设置在底座上的若干个高度调节支撑组件;印刷电路板内具有测试电路,陶瓷板组件内具有多层连接电路,弹簧针连接器电连接测试电路和连接电路,且探针与连接电路电连接,若干个高度调节支撑组件用于调节陶瓷板组件的平面度。本申请结构简单,装配方便、装配精度高,能够满足多工况下探针针尖水平度的需求,提高探针卡的稳定性和可靠性,进一步提高存储芯片测试的效率。
主权项:1.一种用于存储芯片测试的探针卡,其特征在于,包括:底座,表面覆盖有绝缘薄膜;印刷电路板,布置在所述的底座的上表面,所述的印刷电路板内设有一测试电路;陶瓷板组件,高度可调地布置在所述的印刷电路板的上侧,所述的陶瓷板组件内设有多层连接电路;若干个弹簧针连接器,布置在所述的陶瓷板组件和所述的印刷电路板之间,且电连接所述的测试电路和所述的连接电路;若干个探针,设置在所述的陶瓷板组件的上表面,且与所述的连接电路相电连接;以及若干个高度调节支撑组件,设置在所述的底座上,所述的若干个高度调节支撑组件用于调节所述的陶瓷板组件的平面度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 强一半导体(苏州)股份有限公司 用于存储芯片测试的探针卡
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