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申请/专利权人：普冉半导体(上海)股份有限公司
申请日：2024-04-02
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118259056A
主分类号：G01R1/067
分类号：G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本申请公开了一种探针高度可调的探针卡、晶圆测试装置和方法，其中探针卡包括：探针；印刷电路板；探针控制器；所述探针卡用于对放置在探针台上的晶圆进行测试；所述探针控制器连接所述探针和所述印刷电路板，用于接收由上层终端下发的出针位置信息；所述探针控制器，还用于根据所述出针位置信息，调整所述探针的出针挡位，控制在出针位置的若干第一探针保持在测试挡高度；控制不在所述出针位置若干第二探针收回到空挡高度。本申请通过在测试探针和印刷电路板之间添加微型控制器，实现以测试地点为单位调节探针的高度，并且可以实现用户自定义设置扎针地点。
主权项：1.一种探针高度可调的探针卡，其特征在于，包括：探针；印刷电路板；探针控制器；所述探针卡用于对放置在探针台上的晶圆进行测试；所述探针控制器连接所述探针和所述印刷电路板，用于接收由上层终端下发的出针位置信息；所述探针控制器，还用于根据所述出针位置信息，调整所述探针的出针挡位，控制在出针位置的若干第一探针保持在测试挡高度；控制不在所述出针位置若干第二探针收回到空挡高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 普冉半导体(上海)股份有限公司 一种探针高度可调的探针卡、晶圆测试装置和方法
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