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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日：2022-12-23
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248511A
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供了一种等离子体中和器，其包括基座、屏蔽罩、电离腔体和射频线圈，射频线圈为平面线圈，本发明中的平面线圈产生的交变电场切线方向为沿平面线圈法线方向，平面线圈可以仅位于电离腔体的第一侧，上文中距离d为平面线圈到与第一侧相对的屏蔽罩的侧壁之间的垂直距离，不再受阈值电感L0的影响，可以压缩沿平面线圈法向的高度，降低中和器的体积，进而提高中和器的空间利用率。
主权项：1.一种等离子体中和器，其特征在于，包括基座，所述基座上设置有：屏蔽罩，所述屏蔽罩具有内腔；电离腔体，位于所述屏蔽罩的内腔，所述电离腔体具有电离腔，所述电离腔体设置有连通所述电离腔的气体进口和电子束引出口；射频线圈，用于产生电磁场以将所述电离腔内部气体电离；所述射频线圈位于所述电离腔的外侧，并且所述射频线圈为平面线圈。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种等离子体中和器
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