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一种凸型铬靶材中凸部的加工方法 

申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司

申请日:2024-05-07

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118237611A

主分类号:B23B1/00

分类号:B23B1/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明涉及一种凸型铬靶材中凸部的加工方法,具体涉及靶材加工技术领域,所述加工方法包括:对凸型铬靶材的凸部进行车削加工;所述凸部为圆锥台,所述车削加工为从圆锥台底部开始加工至圆锥台顶部结束;所述车削加工的进给量为0.05‑0.08mmr;所述车削加工的吃刀量为0.08‑0.12mm;所述车削加工的主轴转速为150‑180rmin。本发明提供的加工方法,通过对加工过程的设计,利用各加工参数之间的配合效果实现了对铬靶材的高效加工,保证加工后铬靶材的加工面无崩角等缺陷,同时进一步提升加工面的光滑度即粗糙度有进一步地的降低。

主权项:1.一种凸型铬靶材中凸部的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括:对凸型铬靶材的凸部进行车削加工;所述凸部为圆锥台,所述车削加工为从圆锥台底部开始加工至圆锥台顶部结束;所述车削加工的进给量为0.05-0.08mmr;所述车削加工的吃刀量为0.08-0.12mm;所述车削加工的主轴转速为150-180rmin。

全文数据:

权利要求:

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